“6英寸時(shí)代，我們跟上了市場(chǎng)；8英寸時(shí)代，我們正領(lǐng)先全國(guó)，并達(dá)到世界先進(jìn)水平。今年，公司投資擴(kuò)產(chǎn)的重中之重將放在濟(jì)南項(xiàng)目上，進(jìn)而大幅提升8英寸碳化硅襯底產(chǎn)能，快速推進(jìn)產(chǎn)品升級(jí)迭代速度。”日前，廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司（下稱“南砂晶圓”）董事長(zhǎng)王垚浩信心滿滿地對(duì)記者表示。

王垚浩口中的“濟(jì)南項(xiàng)目”，正是去年于濟(jì)南市歷城區(qū)注冊(cè)成立的山東中晶芯源半導(dǎo)體科技有限公司（下稱“中晶芯源”）。作為深耕碳化硅襯底及相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售業(yè)務(wù)的國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)，南砂晶圓計(jì)劃將中晶芯源打造成為全國(guó)最大的8英寸碳化硅襯底生產(chǎn)基地，投資額15億元，于2025年實(shí)現(xiàn)滿產(chǎn)達(dá)產(chǎn)。

一子落而全盤活。第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)細(xì)分龍頭企業(yè)南砂晶圓的核心生產(chǎn)基地花落山東，是魯信集團(tuán)直管企業(yè)魯信創(chuàng)投堅(jiān)定扛牢地方國(guó)有創(chuàng)投機(jī)構(gòu)使命擔(dān)當(dāng)，充分發(fā)揮優(yōu)質(zhì)科創(chuàng)企業(yè)資源及信息優(yōu)勢(shì)，積極為山東省高質(zhì)量招商引資搭建“橋梁”的又一例證。

龍年春節(jié)后首個(gè)工作日召開的山東省高水平開放暨高質(zhì)量招商引資大會(huì)，向全省發(fā)出了深化大開放、拓展大招商的動(dòng)員令。魯信集團(tuán)黨委書記、董事長(zhǎng)陳秀興講到：“多年來(lái)，魯信集團(tuán)發(fā)揮旗下魯信創(chuàng)投等直管企業(yè)優(yōu)勢(shì)，持續(xù)縱深布局‘硬’科技領(lǐng)域，挖掘賦能‘高’科技項(xiàng)目，著力搭建擁有關(guān)鍵核心技術(shù)、創(chuàng)新能力突出的優(yōu)質(zhì)企業(yè)‘朋友圈’。下一步，我們將更加積極主動(dòng)地聚創(chuàng)新之勢(shì)、匯合作之力，充分挖掘第一手的資源和信息，助力山東通過(guò)高質(zhì)量招商引資引進(jìn)新變量、培育新動(dòng)能、塑成新優(yōu)勢(shì)，積蓄高質(zhì)量發(fā)展新勢(shì)能。”

4英寸起步、6英寸追趕、8英寸領(lǐng)先

——“國(guó)外行業(yè)龍頭企業(yè)的30多年，我們僅用5年就趕上了”

隨著新能源汽車產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展、國(guó)家“雙碳”目標(biāo)的明確提出，以碳化硅、氮化鎵等材料為代表的第三代半導(dǎo)體已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)新的戰(zhàn)略競(jìng)爭(zhēng)高地。其中，作為技術(shù)應(yīng)用最為成熟的襯底材料，碳化硅襯底更是在市場(chǎng)上“一片難求”，堪稱新興材料“寵兒”。

眾所周知，因具備禁帶寬度大、熱導(dǎo)率高、臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)高、電子飽和漂移速率高等特點(diǎn)，碳化硅襯底可有效突破傳統(tǒng)硅基半導(dǎo)體器件及其材料的物理極限，開發(fā)出更加滿足高壓、高溫、高功率、高頻等要求的新一代半導(dǎo)體器件，目前已在5G通信、軌道交通、新能源汽車及充電樁、新能源、儲(chǔ)能、大數(shù)據(jù)中心、工控等領(lǐng)域展開廣泛應(yīng)用場(chǎng)景。

“碳化硅功率器件在新能源汽車中的滲透率正在快速提升，目前主要應(yīng)用于主驅(qū)逆變器、車載充電單元（OBC）、DC/DC車載電源轉(zhuǎn)換器和大功率DC/DC充電器等領(lǐng)域，可在大功率、大電流等條件下有效降低損耗、提高效率并縮小器件尺寸與重量，進(jìn)而顯著提升消費(fèi)者對(duì)新能源汽車最為關(guān)注的續(xù)航能力與充電效率，并降低整車成本。”王垚浩向記者介紹道，例如主驅(qū)逆變器搭載碳化硅基MOSFET之后，基于系統(tǒng)效率的整體提升，可節(jié)電5%至10%，僅此一項(xiàng)成本節(jié)省空間便超過(guò)5000元。“正因于此，截至今年年初，配備碳化硅功率器件的新能源車型相較去年同期，已增長(zhǎng)了數(shù)倍。”

然而，一邊是爆發(fā)式攀升的市場(chǎng)需求及百億級(jí)空間，一邊卻是碳化硅襯底制備領(lǐng)域高企的技術(shù)與工藝壁壘——既硬且脆的材料特性，考驗(yàn)重重的切割、研磨、拋光等加工環(huán)節(jié)，因尺寸變大呈幾何倍數(shù)增加的生長(zhǎng)、工藝難度，需重點(diǎn)解決的應(yīng)力開裂、翹曲度過(guò)大等問(wèn)題……

“這一產(chǎn)業(yè)在國(guó)外已經(jīng)發(fā)展了30多年，美、歐、日等加速搶占全球第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)，已形成三足鼎立之勢(shì)。隨著全球貿(mào)易摩擦持續(xù)，半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石，一直是‘兵家必爭(zhēng)’的焦點(diǎn)。”在王垚浩看來(lái)，用最短的時(shí)間突破技術(shù)關(guān)鍵“瓶頸”，解決“卡脖子”問(wèn)題，追趕上世界碳化硅襯底制備技術(shù)水平，正是我國(guó)第三代半導(dǎo)體從業(yè)者的責(zé)任與使命、挑戰(zhàn)與機(jī)遇。

2018年，秉持“聚沙成晶、科技報(bào)國(guó)”的愿景，依托山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室徐現(xiàn)剛教授團(tuán)隊(duì)的技術(shù)成果，南砂晶圓于廣州市南沙區(qū)注冊(cè)成立。

“在技術(shù)團(tuán)隊(duì)逾10年的研發(fā)積累下，我們很快突破了碳化硅單晶生長(zhǎng)及襯底制備技術(shù)，為其國(guó)產(chǎn)商業(yè)化奠定了良好基礎(chǔ)。但這一行業(yè)除頗高的技術(shù)門檻外，還具備資金投入大、資本密集的特性，僅一臺(tái)加工或檢測(cè)設(shè)備便高達(dá)千萬(wàn)元。只有加強(qiáng)資本運(yùn)作，切實(shí)推進(jìn)‘四鏈融合’，才有望實(shí)現(xiàn)橫向、縱向擴(kuò)展，進(jìn)一步夯實(shí)并提高市場(chǎng)份額。”王垚浩對(duì)記者表示。

2021年，為搶抓第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略機(jī)遇，在半導(dǎo)體尤其是碳化硅行業(yè)計(jì)劃進(jìn)行深度挖掘并較早布局的魯信創(chuàng)投，憑借對(duì)科創(chuàng)型項(xiàng)目的專業(yè)辨別能力與賽道把握能力，在嚴(yán)格審計(jì)及評(píng)估的基礎(chǔ)上，敏銳發(fā)掘出南砂晶圓這一創(chuàng)新能力突出、成長(zhǎng)空間可觀的優(yōu)質(zhì)項(xiàng)目。當(dāng)年5月，魯信創(chuàng)投成為南砂晶圓A輪融資領(lǐng)投方，投資逾億元，自此開啟了雙方攜手奮進(jìn)的序幕。

在“真金白銀”的有力加持，以及魯信創(chuàng)投覆蓋核心耗材、襯底生產(chǎn)、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、模塊封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈的投資布局賦能下，南砂晶圓技術(shù)成果加速迭代，長(zhǎng)晶與生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)良率持續(xù)提升——2021年啟動(dòng)導(dǎo)電型襯底研發(fā)，2022年領(lǐng)先行業(yè)研發(fā)出8英寸襯底并完成主要下游客戶驗(yàn)證，2023年導(dǎo)電型襯底對(duì)部分客戶進(jìn)入批量供貨階段……

“從6英寸到8英寸，襯底面積擴(kuò)大了近1.8倍，但難度系數(shù)是呈幾何倍數(shù)提升的。這個(gè)過(guò)程中，魯信創(chuàng)投給予了我們極大的支持與信任，確保公司能夠心無(wú)旁騖地在提升長(zhǎng)晶良率、綜合良率方面持續(xù)加大研發(fā)力度，著力提高加工工藝水平，并搭建起國(guó)內(nèi)第一條完整的全自動(dòng)激光切割流程設(shè)備線，實(shí)現(xiàn)了從零到一的突破。”王垚浩表示。

正是得益于對(duì)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的深刻理解，以及在前瞻性技術(shù)研發(fā)布局上的不遺余力，南砂晶圓從4英寸起步、6英寸追趕到如今的8英寸領(lǐng)先，蹄疾而步穩(wěn)，勇毅而篤行。

“通過(guò)多措并舉，各環(huán)節(jié)協(xié)同發(fā)力，目前公司8英寸襯底產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)已經(jīng)位列國(guó)內(nèi)第一梯隊(duì)，并達(dá)到世界先進(jìn)水平。在這一領(lǐng)域，國(guó)外行業(yè)龍頭企業(yè)發(fā)展了30多年，我們僅用5年就趕上了。當(dāng)下國(guó)外已經(jīng)‘卡’不住我們了，差距只是在產(chǎn)能上。”王垚浩欣慰且驕傲地說(shuō)道。

找準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)契合點(diǎn)、捕捉企業(yè)關(guān)注點(diǎn)

——選擇山東、落地山東、攜手山東

而如何在最短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能攀升，滿足持續(xù)旺盛的市場(chǎng)需求，打破“一片難求”的供給現(xiàn)狀，確保高質(zhì)穩(wěn)定的供應(yīng)能力，進(jìn)而為推動(dòng)我國(guó)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展、培育壯大現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供有力支撐，成為南砂晶圓第二個(gè)“五年規(guī)劃”中的重中之重。

在王垚浩看來(lái)，隨著技術(shù)工藝的日益成熟、制備難度及成本的逐步下降以及產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同完善，碳化硅襯底價(jià)格下降趨勢(shì)已然明朗，且較為可觀。“對(duì)于行業(yè)發(fā)展而言是好事，必將進(jìn)一步拓展應(yīng)用場(chǎng)景。可以預(yù)見，未來(lái)只要涉及電力電子器件領(lǐng)域，在居民生活、工業(yè)生產(chǎn)的方方面面都會(huì)出現(xiàn)碳化硅的身影，空調(diào)、電冰箱……將更加節(jié)能省電、長(zhǎng)久耐用。而這也對(duì)當(dāng)下本就供不應(yīng)求的襯底產(chǎn)能，提出了更高要求。”

基于此預(yù)期，在成立5周年之際，南砂晶圓對(duì)下一個(gè)5年的任務(wù)目標(biāo)進(jìn)行了調(diào)整明確。

“創(chuàng)業(yè)的前5年，我們的重點(diǎn)任務(wù)是通過(guò)持續(xù)研發(fā)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，搭建起自主、核心技術(shù)體系。如今進(jìn)入第二個(gè)5年，公司將著力在規(guī)模化生產(chǎn)上下功夫，迅速提升產(chǎn)能，確保穩(wěn)定供應(yīng)，力爭(zhēng)在未來(lái)5年內(nèi)邁入這一行業(yè)的世界前列。”王垚浩擲地有聲。

而這一擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，讓同時(shí)身為南砂晶圓重要投資人以及山東地方國(guó)有創(chuàng)投機(jī)構(gòu)的魯信創(chuàng)投，嗅到了機(jī)遇，找到了契合點(diǎn)。

“南砂晶圓擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃的醞釀、討論、調(diào)研以及最后敲定，我們?cè)谕逗蠓?wù)中均全程參與，第一時(shí)間掌握了準(zhǔn)確消息。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，潛力可觀。為助力山東搶抓產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略機(jī)遇，我們認(rèn)為引入南砂晶圓這一行業(yè)龍頭企業(yè)，將進(jìn)一步優(yōu)化第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展布局，提升產(chǎn)業(yè)整體競(jìng)爭(zhēng)力，進(jìn)而帶動(dòng)全省電子信息產(chǎn)業(yè)的融合發(fā)展。”魯信創(chuàng)投副總經(jīng)理葛效宏對(duì)記者說(shuō)道。

為此，魯信創(chuàng)投積極靠上、精準(zhǔn)對(duì)接、聚焦發(fā)力、靶向出擊，在找準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)契合點(diǎn)、捕捉企業(yè)關(guān)注點(diǎn)的基礎(chǔ)上，協(xié)調(diào)山東各方資源以先發(fā)深厚的研發(fā)積淀、高端多層次的人才支撐、真材實(shí)料的產(chǎn)業(yè)空間、真金白銀的惠企政策、長(zhǎng)期向好的營(yíng)商環(huán)境……吸引南砂晶圓最終選擇山東、落地山東、攜手山東。

“8英寸襯底具備更大的芯片利用面積及成本優(yōu)勢(shì)，我們計(jì)劃在濟(jì)南項(xiàng)目全部建設(shè)8英寸襯底產(chǎn)能，逐步將其打造為公司主力產(chǎn)品，進(jìn)而在以6英寸襯底為主的市場(chǎng)供給結(jié)構(gòu)中實(shí)現(xiàn)異軍突起、彎道超車。”王垚浩對(duì)記者透露。

值得注意的是，在魯信創(chuàng)投積極對(duì)接關(guān)鍵材料提供方及上下游供應(yīng)商的助力下，南砂晶圓濟(jì)南項(xiàng)目中高達(dá)99%的原材料、95%的主要生產(chǎn)設(shè)備將實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。“作為碳化硅襯底行業(yè)龍頭企業(yè)，南砂晶圓在大力提升國(guó)產(chǎn)化率方面發(fā)揮的領(lǐng)軍帶頭作用，也將有力促進(jìn)山東補(bǔ)齊產(chǎn)業(yè)鏈缺失環(huán)節(jié)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)緊密配套、融通發(fā)展，打造空間集聚、功能關(guān)聯(lián)的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。”葛效宏表示。

先期投資布局、一手資源信息、創(chuàng)新招引途徑

——“將對(duì)接更多龍頭企業(yè)、重點(diǎn)工業(yè)企業(yè)來(lái)魯投資”

高質(zhì)量招商引資的“高”，體現(xiàn)在招引的視野理念、機(jī)制手段、產(chǎn)業(yè)層次和項(xiàng)目質(zhì)量上——而這，同樣是魯信創(chuàng)投縱深布局“硬科技”項(xiàng)目、“長(zhǎng)周期”扶持創(chuàng)新型科技企業(yè)、“全流程”賦能實(shí)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵詞。

為主動(dòng)在“雙循環(huán)”格局中找準(zhǔn)定位，勇于在“全方位”開放中擁抱未來(lái)，善于在“新競(jìng)合”態(tài)勢(shì)中把握機(jī)遇，魯信創(chuàng)投緊跟國(guó)家戰(zhàn)略，持續(xù)聚焦新一代信息技術(shù)、高端裝備制造、醫(yī)療大健康、新能源、新材料、半導(dǎo)體、航空航天等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，助力山東集中力量攻堅(jiān)突破，通過(guò)引進(jìn)標(biāo)志性牽引性大項(xiàng)目，大力提升創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)力，優(yōu)化調(diào)整生產(chǎn)力布局，延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈、做大做精做強(qiáng)，助力培育一批具有全國(guó)乃至全球影響力的產(chǎn)業(yè)鏈。

除迅速響應(yīng)《山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃》，在半導(dǎo)體尤其是碳化硅行業(yè)持續(xù)進(jìn)行深度挖掘并較早布局，投資覆蓋核心耗材、襯底生產(chǎn)、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、模塊封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈，并成功引入南砂晶圓、艾恩半導(dǎo)體落地山東以外，魯信創(chuàng)投還積極助力山東在航天航空方面勇當(dāng)創(chuàng)新標(biāo)桿，已先期投資藍(lán)箭航天、微焓科技、鴻俠科技等行業(yè)龍頭企業(yè)，并持續(xù)助推其與山東企業(yè)加強(qiáng)合作，力爭(zhēng)盡快落地山東。

“目前，公司90%以上的資金投資在‘硬科技’領(lǐng)域，已成功投資培育了一批新材料、高端制造等領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)。作為山東省重要投融資主體和資產(chǎn)管理平臺(tái)——魯信集團(tuán)旗下從事創(chuàng)業(yè)投資業(yè)務(wù)的核心板塊，我們將圍繞山東產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)有基礎(chǔ)及戰(zhàn)略布局，借助一手資源及信息，通過(guò)精準(zhǔn)招商、產(chǎn)業(yè)鏈招商、以商招商、資本招商等創(chuàng)新途徑，積極對(duì)接更多龍頭企業(yè)、重點(diǎn)工業(yè)企業(yè)來(lái)山東投資，在‘進(jìn)’上尋求突破，在‘立’上厚植優(yōu)勢(shì)。”魯信創(chuàng)投黨委書記、董事長(zhǎng)王旭冬對(duì)記者表示。

閃電新聞?dòng)浾?張蓓  報(bào)道

[責(zé)任編輯：張蓓 毛馨 穆楠 劉駿]

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